应用于半导体制造行业的氟涂层

含氟涂料具有化学惰性、耐高温、耐腐蚀、低摩擦系数及优良的不粘性等特性，使其在特殊的场景中得到广泛应用。如半导体湿法工艺设备中，石英部件（如晶圆花篮、石英玻璃管等）经常需要接触强酸、强碱或其他腐蚀性试剂。在石英表面涂覆含氟涂层，可以形成一道的化学屏障，进一步增强其对极端化学环境的抵抗能力，显著延长石英部件的服役寿命，降低设备维护成本和因腐蚀导致的设备失效风险。

本成果是一款应用于石英基材上的含氟涂层，其特殊的石英底涂可以增强含氟涂料在石英部件表面的附着力。良好的附着效果可以增强含氟涂层的耐腐蚀能力，防止在使用时涂层的脱落，具有很好的应用前景。

技术优势

含氟涂料作为一种高性能的特种涂料，具有诸多优点：

但含氟涂料应用于石英基材上时，其附着效果较差而导致涂层脱落开裂等结果，失去含氟涂层对基材的保护。本成果介绍的应用于半导体制造行业的氟涂层采用了粘度高的石英底涂和增强含氟涂层附着力的含氟底涂，在两层底涂的增强效果下该含氟涂层在石英基材表面起到了优异的防腐功能。

场景应用

在半导体制造行业晶圆加工环节中，含氟涂层被应用于放置晶圆的部件花篮上。该部件需要频繁接触各种化学清洗剂和纯水，且工作环境要求高度洁净。含氟涂层的化学惰性确保了其在长期接触各类化学试剂时不会发生反应，降低了颗粒污染的风险。此外，其低摩擦系数特性减少了使用过程中的磨损，延长了使用寿命。